SINTON公司的IL-800是进行快速产线测试的工具。具有与离线工具相当的综合精度，以及专为工业生产设计的软件包，可以监控硅片少子寿命、方块电阻和陷阱浓度。

将Sinton Instruments离线测试仪WCT-120的校准寿命测试技术用于生产线，对工业生产线进行工艺监控。

使用IL-800可以对硅片寿命进行单次、大面积测量，测试会对平衡晶界或晶体生长条件差异的影响。

测试单元带有集成光源，可以安装到硅片轨道上方或下方，使用无接触传感器对每片经过轨道的硅片进行测试。

产品概述:

 在关键工艺步骤测试硅片，来对生产线进行逐步监控和优化。

主要应用:

监测原料硅片质量(寿命、方块电阻和陷阱浓度）

-对 磷扩工艺进行质量监控

-在生产过程中， 提前发现来自于水、化学品、高温炉管或操作过程等造成的硅片污染

-保证 氮化硅镀膜工艺佳的表面钝化效果